લિથોગ્રાફી મશીન માસ્ક એલાઈનર ફોટો-એચિંગ મશીન

સ્પષ્ટીકરણ

1. એક્સપોઝર વિસ્તાર: 110mm × 110mm；
2. ★ એક્સપોઝર તરંગલંબાઇ: 365nm;
3. ઠરાવ: ≤ 1m;
4. સંરેખણ ચોકસાઈ: 0.8m;
5. સંરેખણ પ્રણાલીના સ્કેનિંગ ટેબલની ગતિ શ્રેણી ઓછામાં ઓછી મળવી જોઈએ: Y: 10mm;
6. સંરેખણ પ્રણાલીની ડાબી અને જમણી લાઇટ ટ્યુબ X, y અને Z દિશામાં, X દિશામાં: ± 5mm, Y દિશા: ± 5mm અને Z દિશામાં: ± 5mm;
7. માસ્કનું કદ: 2.5 ઇંચ, 3 ઇંચ, 4 ઇંચ, 5 ઇંચ;
8. નમૂનાનું કદ: ટુકડો, 2 ", 3", 4 ";
9. ★ નમૂનાની જાડાઈ માટે યોગ્ય: 0.5-6mm, અને વધુમાં વધુ 20mm નમૂનાના ટુકડાને સપોર્ટ કરી શકે છે (કસ્ટમાઇઝ્ડ);
10. એક્સપોઝર મોડ: સમય (કાઉન્ટડાઉન મોડ);
11. લાઇટિંગની બિન-એકરૂપતા: ＜ 2.5%;
12. ડ્યુઅલ ફીલ્ડ CCD સંરેખણ માઇક્રોસ્કોપ: ઝૂમ લેન્સ (1-5 વખત) + માઇક્રોસ્કોપ ઉદ્દેશ્ય લેન્સ;
13. નમૂનાની તુલનામાં માસ્કનો મૂવમેન્ટ સ્ટ્રોક ઓછામાં ઓછો મળતો હોવો જોઈએ: X: 5mm; Y: 5mm; : 6º
14. ★ એક્સપોઝર એનર્જી ડેન્સિટી: > 30MW/cm2,
15. ★ બે સ્ટેશનોમાં ગોઠવણીની સ્થિતિ અને એક્સપોઝર પોઝિશન કામ કરે છે, અને બે સ્ટેશન સર્વો મોટર આપમેળે સ્વિચ કરે છે;
16. લેવલિંગ સંપર્ક દબાણ સેન્સર દ્વારા પુનરાવર્તિતતાની ખાતરી કરે છે;
17. ★ સંરેખણ ગેપ અને એક્સપોઝર ગેપ ડિજીટલ રીતે સેટ કરી શકાય છે;
18. ★ તેમાં નેનો ઇમ્પ્રિન્ટ ઇન્ટરફેસ અને પ્રોક્સિમિટી ઇન્ટરફેસ છે;
19. ★ ટચ સ્ક્રીન કામગીરી;
20. એકંદર પરિમાણ: લગભગ 1400mm (લંબાઈ) 900mm (પહોળાઈ) 1500mm (ઊંચાઈ).