લિથોગ્રાફી મશીન માસ્ક એલાઈનર ફોટો-એચિંગ મશીન

સ્પષ્ટીકરણ

1. એક્સપોઝર વિસ્તાર: 110mm × 110mm;
2. ★ એક્સપોઝર તરંગલંબાઇ: 365nm;
3. રિઝોલ્યુશન: ≤ 1m;
4. સંરેખણ ચોકસાઈ: 0.8m;
5. સંરેખણ સિસ્ટમના સ્કેનિંગ ટેબલની ગતિ શ્રેણી ઓછામાં ઓછી હોવી જોઈએ: Y: 10mm;
6. સંરેખણ પ્રણાલીની ડાબી અને જમણી લાઇટ ટ્યુબ X, y અને Z દિશામાં અલગથી ખસેડી શકે છે, X દિશા: ± 5mm, Y દિશા: ± 5mm અને Z દિશામાં: ± 5mm;
7. માસ્કનું કદ: 2.5 ઇંચ, 3 ઇંચ, 4 ઇંચ, 5 ઇંચ;
8. નમૂનાનું કદ: ટુકડો, 2 ", 3", 4 ";
9. ★ નમૂના જાડાઈ માટે યોગ્ય: 0.5-6mm, અને વધુમાં વધુ 20mm નમૂના ટુકડાઓને સપોર્ટ કરી શકે છે (કસ્ટમાઇઝ્ડ);
10. એક્સપોઝર મોડ: ટાઇમિંગ (કાઉન્ટડાઉન મોડ);
૧૧. પ્રકાશની એકરૂપતા ન હોવી: ＜ ૨.૫%;
૧૨. ડ્યુઅલ ફીલ્ડ સીસીડી એલાઈનમેન્ટ માઈક્રોસ્કોપ: ઝૂમ લેન્સ (૧-૫ વખત) + માઈક્રોસ્કોપ ઓબ્જેક્ટિવ લેન્સ;
૧૩. નમૂનાની સાપેક્ષમાં માસ્કનો હલનચલન સ્ટ્રોક ઓછામાં ઓછો આટલો હોવો જોઈએ: X: ૫ મીમી; Y: ૫ મીમી; : ૬º;
૧૪. ★ એક્સપોઝર ઊર્જા ઘનતા: > ૩૦ મેગાવોટ / સેમી૨,
૧૫. ★ બે સ્ટેશનોમાં ગોઠવણી સ્થિતિ અને એક્સપોઝર સ્થિતિ કાર્ય કરે છે, અને બે સ્ટેશન સર્વો મોટર આપમેળે સ્વિચ થાય છે;
૧૬. સંપર્ક દબાણનું સ્તરીકરણ સેન્સર દ્વારા પુનરાવર્તિતતા સુનિશ્ચિત કરે છે;
૧૭. ★ સંરેખણ ગેપ અને એક્સપોઝર ગેપ ડિજિટલી સેટ કરી શકાય છે;
૧૮. ★ તેમાં નેનો ઇમ્પ્રિન્ટ ઇન્ટરફેસ અને પ્રોક્સિમિટી ઇન્ટરફેસ છે;
૧૯. ★ ટચ સ્ક્રીન કામગીરી;
20. એકંદર પરિમાણ: લગભગ 1400mm (લંબાઈ) 900mm (પહોળાઈ) 1500mm (ઊંચાઈ).